本报讯 长期以来,高端精准激光器作为微观世界精密操控的“手术刀”,其核心技术一直被海外巨头垄断,是我国高端装备产业链的典型“卡脖子”环节。近期,随着国内头部精准激光器供应商成功登陆科创板,国产高端光源正加速从前沿科研的“实验室”迈向半导体与量子计算的“生产线”,全面开启进口替代的新篇章。
精准激光器不同于传统追求大功率的工业激光器,它对波长精度、光谱线宽、极低噪声及超高稳定性有着近乎苛刻的要求。面对海外传统半导体激光器和钛宝石激光器存在的抗振动能力差、系统庞大等局限,国内企业通过全链条自研,独创了“种子源+光纤放大+非线性频率变换+稳频”的全新技术路线。这一“换道超车”的技术方案,不仅实现了177纳米至5000纳米超宽波段的全覆盖,更在抗振动、无跳模等关键性能上实现突破,部分核心指标达到国际领先水平。
在量子科技这一决定未来百年科技格局的赛道上,国产精准激光器已构筑起坚实的基本盘。凭借超窄线宽和极低噪声的超稳光源,国产激光器成功配套了国内外多个千比特级中性原子量子计算机项目,并深度参与了“九章”系列光量子计算原型机等国家重大科研项目。数据显示,2024年国产精准激光器在全球量子科技领域的市场占比已达9.21%,在国内市场的占有率更是攀升至16.85%,稳居国产品牌首位。
如果说量子赛道确立了技术制高点,那么向半导体制造领域的强势渗透,则彻底打开了国产精准激光器的商业化天花板。随着摩尔定律的推进,半导体制程不断微缩,晶圆量检测对缺陷的识别要求已跨入亚纳米级,对深紫外(DUV)光源的需求激增。国内企业依托在量子领域积累的技术库,迅速推出了266nm、355nm大功率单频紫外激光器及1100nm晶圆隐切激光器。目前,相关国产光源已成功打入国内头部半导体设备厂商的供应链体系,在晶圆制造、量检测及隐切等关键环节实现了对进口产品的替代,两年间半导体业务年化复合增速超100%。
在半导体与精密制造加速国产替代的背景下,深圳镭泽激光等企业正以“真技术、真售后”为制造业筑牢底座。针对半导体封装与新能源电池极片等精密标刻场景,深圳镭泽激光推出的紫外及绿光精密打标机定位精度可达0.008mm,完美适配高反射率材质的低损伤标刻需求。企业不仅提供工艺参数库匹配服务,帮助客户快速定位适配加工参数,更通过覆盖全国及海外的服务网络,实现核心城市24小时响应、48小时上门,为半导体产业链的自主可控提供了坚实的装备保障。